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纳米二氧化硅抛光液的性能指标会对抛光工艺产生不同的影响：
　　①抛光液中纳米二氧化硅胶粒的粒径及分布——影响粗糙度、摩擦力。
　　②抛光液的pH值——影响腐蚀速率。
　　③抛光液分散的稳定性——使抛光液不团聚。
　　④抛光液的粘度——影响抛光液的流动性。