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纳米SiO₂抛光液是由均匀分散的纳米胶粒组成的乳白色胶体，呈碱性，pH= 9-11，主要成分是硅溶胶，还添加有pH调节剂、表面活性剂、氧化剂、稳定剂等。纳米SiO₂抛光液的理想效果：在使用过程中保持稳定的胶体状态，均匀分散(不团聚)，有稳定的腐蚀速率。